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[会议论文]
Au/p-CuAlO_2薄膜的欧姆接触
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本文利用直流溅射法在p型CuAlO_2薄膜上沉积金属Au薄膜电极,研究了退火温度对改善Au/p-CuAlO_2薄膜间欧姆接触的决定性影响,利用传统的线性传输线模型计算Au/p-CuAlO_2薄膜的欧姆接触电阻率。通过
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Conference Name
第十五届全国高技术陶瓷学术年会
Organizers
Place
中国辽宁沈阳
Date
2008-09
Sponsor
Classification
Type
Project Name
Project No.
Access Number
CNKI:TZTC200809001391
Language
Chinese
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Source ：
Year： 2008
Language： Chinese
Cited Count：
WoS CC Cited Count： 0
SCOPUS Cited Count：
ESI Highly Cited Papers on the List： 0 Unfold All
WanFang Cited Count：
Chinese Cited Count：
30 Days PV： 1
Affiliated Colleges：
材料与制造学部 材料科学与工程学院
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