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[会议论文]
Au/p-CuAlO_2薄膜的欧姆接触
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本文利用直流溅射法在p型CuAlO_2薄膜上沉积金属Au薄膜电极,研究了退火温度对改善Au/p-CuAlO_2薄膜间欧姆接触的决定性影响,利用传统的线性传输线模型计算Au/p-CuAlO_2薄膜的欧姆接触电阻率。通过
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年份： 2008
语种： 中文
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材料与制造学部 材料科学与工程学院
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