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金艳梅 (金艳梅.) | 刘赵淼 (刘赵淼.) (学者:刘赵淼)

摘要:

数值模拟了旋涂覆中黏性溶液形成薄膜的过程,主要分析了基体的旋转速度、涂覆溶液体积、表面张力系数和黏度系数的影响。

关键词:

旋涂覆 薄膜 表面张力系数 黏度系数

作者机构:

  • [ 1 ] 北京工业大学机电学院

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来源 :

年份: 2008

语种: 中文

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