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[会议论文]
多弧离子镀制备TiN/Ni纳米复合超硬膜的研究
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摘要：
采用多弧离子镀技术,通过改变 Ni 靶电流和开启的时间,在高速钢基体上沉积出不同 Ni 含量的 TiN/Ni 复合膜涂层, 用 SEM、AFM 观察其形貌,用 XRD 分析复合膜的相结构,用显微硬度计测试薄膜硬度,同时初步探索了 TiN/Ni 纳米复合膜的超硬机理。结果表明:随着 Ni 含量的增加,晶粒逐渐细化并达到纳米级尺寸,膜层硬度与 Ni 的含量密切相关,当 Ni 含量达到1.4at%时,硬度最高,达到47GPa。
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来源 ：
年份： 2008
语种： 中文
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材料与制造学部 材料科学与工程学院
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