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汪旭洋 (汪旭洋.) | 邓金祥 (邓金祥.) (学者:邓金祥) | 张晓康 (张晓康.) | 姚倩 (姚倩.) | 王玲 (王玲.)

摘要:

用电子束蒸发法制备了c-BN薄膜。衬底采用单面抛光n型Si(100),在背底真空为1.3×10~(-3) Pa,电子枪束流为80 mA,衬底温度为室温的条件下蒸发镀膜40 min,再将BN薄膜样品在氮气保护下900℃退火1 h。所得BN薄膜含量用傅里叶变换红外光谱(FTIR)进行表征,c-BN薄膜中立方相含量约为90%。使用紫外-可见光谱仪采集薄膜样品的反射光谱R(λ),根据反射光谱R(λ)利用Kramers-Kronig变换关系,得到样品的折射率n和吸收系数α。

关键词:

傅里叶变换红外光谱 光学性质 电子束蒸发 立方氮化硼薄膜 紫外-可见反射光谱

作者机构:

  • [ 1 ] 北京工业大学应用数理学院

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年份: 2008

语种: 中文

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