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[会议论文]
衬底温度对氧化锌薄膜的光谱学特性影响研究
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＜正＞作为一种宽带半导体材料,氧化锌在紫外探测、LED、LD 等领域备受关注,成为继 GaN 之后的半导体新材料研究的国际新热点。而薄膜是其应用的重要形式之一,研究者们采用多种方法进行薄膜制备及其性能研究。
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年份： 2007
语种： 中文
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