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[会议论文]
热氧化法制备透明超疏水ZnO薄膜
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高透明性的无机超疏水薄膜材料具有广阔的应用前景．采用磁控溅射法制备出表面具有纳米结构的金属 Zn 前驱体薄膜,并利用在低气压5Pa,温度350℃热氧化方法对其采取了处理,获得了接触角为151°, 可见光透过率达80％以上的超疏水 ZnO 薄膜．SEM 表明薄膜由100nm 短棒状的 ZnO 堆积而成,通过 XRD, IR 的测量与分析,进一步讨论了沉积条件及热氧化处理对超疏水透明 ZnO 薄膜形成机理．
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年份： 2007
语种： 中文
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