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[会议论文]
MW-ECR CVD制备立方氮化硼薄膜
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采用微波电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积(MW-ECR CVD)法,BF3-H2-N2-Ar为反应气体,制备立方氮化硼薄膜。应用傅立叶红外光谱 (FTIR),定性地研究通入的H2和N2流量对制备的立方氮化硼薄膜结构的影响。发现在BF3-H2-N2-Ar 气体系统中,H2对立方氮化硼薄膜结构的影响比较明显,而N2的影响没有那么明显。并对MW-ECR CVD 制备立方氮化硼薄膜的结构特性进行了初步分析。
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年份： 2006
语种： 中文
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