CeO2是目前被广泛研究的能应用于YBCO涂层导体的过渡层材料,MOD(metal　organic　deposition)　是一种成本低廉的非真空制备薄膜的化学溶液方法。本文采用MOD方法,以有机铈盐配制前驱溶液,在立方织构的Ni-5％(原子分数)W基底上制备了CeO2过渡层。研究了热处理参数对合成CeO2相及薄膜取向的影响。所获得的CeO2薄膜表面均匀致密没有裂纹,并具有很强的双轴立方织构。比较发现所制备的CeO2改善了Ni5W基底的面内取向和表面粗糙度。