＜正＞　氮化硼(BN)薄膜是有着广泛应用前景的Ⅲ-Ⅴ族化合物薄膜,它主要有两个稳定相,即立方氮化硼(c-BN)和六角氮化硼(h-BN)。其中,h-BN有着类似于石墨的层状结构,质地比较软,可以用作润滑剂:另外,h-BN有着很高的电阻率,绝缘性好,加上其物理和化学的稳定性,可以用作许多电子器件的绝缘膜;此外,h-BN在X光及可见光区域透明,还可以作为透明绝缘层用于电致发光器件。而对于c-BN薄膜,它是一种理想的新型宽带隙(Eg≈6.6eV)半导体薄膜材料,具有高的电阻率、高的热稳定性和高的热导率以及与Si、GaAs接近的热膨胀系数,使之可以成为很好的热沉材料。无论是h-BN还是c-BN薄膜都可以...