高级检索
检索提示：高级检索多个条件检索时是按照顺序运算的：如 A或B与C 即:(A或B)与C
[会议论文]
采用热丝辅助MW-ECRCVD法制备高性能a-Si:H薄膜
作者：
摘要：
＜正＞ 氢化非晶硅(a-Si∶H)薄膜是硅基薄膜太阳电池的核心材料,而且作为薄膜场效应晶体管在电子摄像,大面积平板显示器等领域的应用也有很大进展。高光敏性及高稳定型的a-Si∶H薄膜的制备,始终是硅基薄膜太阳电池研究和应用中的关键技术,受到各国相关领域的高度重视。我们采用热丝辅助的MW ECR-CVD系统制备氢化非晶硅(a-Si∶H)薄膜。MW ECR-CVD系统产生的等离子体具有能量转化率高,气体分解率高、激发态产物种类较多和基团浓度高
关键词：
作者机构：
通讯作者信息：
电子邮件地址：
相关关键词：
相关文章：
2011，第十六届全国光散射学术会议
2013，TFC'13全国薄膜技术学术研讨会
2006，真空科学与技术学报
2006，全国薄膜技术学术研讨会
来源 ：
年份： 2005
语种： 中文
被引次数：
WoS核心集被引频次： 0
SCOPUS被引频次：
ESI高被引论文在榜： 0 展开所有
万方被引频次：
中文被引频次：
近30日浏览量： 3
归属院系：
理学部
材料与制造学部 材料科学与工程学院
全文获取
外部链接：
