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[会议论文]
等离子体表面处理对YBCO薄膜表面形貌的研究
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摘要：
采用自制的等离子表面处理装置对MOD法制得YBCO薄膜进行表面处理。我们通过控制等离子处理时间,辉光电流,处理温度以及退火的工艺流程,发现YBCO超导薄膜表面成分,表面形貌发生的明显的改变。这种简易快速的方法将对YBCO薄膜表面质量提高起到有效的作用。
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年份： 2004
语种： 中文
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材料与制造学部 材料科学与工程学院
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