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[会议论文]
MW-ECR制备的氢化非晶硅光电特性研究
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摘要：
通过对热丝辅助微波电子回旋共振(HW-MW-ECRCVD)法制备的氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜进行暗电导与温度关系的测试,可得到暗电导激活能(Ea),并研究了Ea与a-Si:H薄膜光敏性(σph/σd)的关系;发现随着Ea的增大,费米能级位置下移,缺陷态密度减少,薄膜的光敏性变好.
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来源 ：
年份： 2004
语种： 中文
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材料与制造学部 材料科学与工程学院
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