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[会议论文]
负偏压在碳纳米管生长过程中的作用研究
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利用负偏压增强热丝化学气相沉积系统,在沉积有过渡层Ta和催化剂层NiFe的Si衬底上制备得到了碳纳米管.研究发现,负偏压时NiFe层的裂解和碳纳米管的生长都有很大的影响.本文详细分析和讨论了负偏压在碳纳米管生长过程中的作用.
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年份： 2004
语种： 中文
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