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[会议论文]
MWECR-CVD系统新型磁场结构的研究
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本文介绍了一种用于微波电子回旋共振CVD(MWECR-CVD)系统的新型磁场结构。这一结构由单个磁场线圈和一个永磁体单元组成。与未采用永磁体单元时相比,采用这一结构在可使样品台处的轴向磁感应强度升高80%以上,并使永磁体单元侧面的轴向磁感应强度反向。实验表明,这种特殊的磁场分布可使等离子体几乎全部聚集于永磁体单元和样品台的上方,大幅度提高了对等离子体的利用率。
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年份： 2004
语种： 中文
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材料与制造学部 材料科学与工程学院
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