生物电喷芯片是和质谱仪连用,用于药理分析的一种新型芯片,其中微喷嘴是制备的关键。本文利用波长为248nm的准分子激光微加工系统,加工位置定在像面,采用更换掩模的方法,在有机玻璃上加工出了入口直径为400um,出口直径为40um,长为9mm的锥形喷嘴;随后采用低能量的激光对喷嘴内壁和尖端2mm的外径部分分别进行抛光,获得了光滑的内壁,并使喷嘴尖端外径尺寸从1mm降到200um。通过对其进行喷雾试验,验证了这种方法加工生物电喷芯片能取得好的喷雾效果。