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[会议论文]
a-Si:H薄膜的MW ECR CVD沉积与FTIR分析
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＜正＞a-Si:H薄膜在太阳能电池、薄膜晶体管、大面积平面显示和传感器等光电器件上有广阔的应用前景.近来,为了获得高质量、高沉积速率的a-Si:H薄膜,MW ECR CVD在国际上越来越受到人们重视.与其它几种传统的CVD技术相比,MW ECR CVD具有以下特点:运行气压低,ECR等离子体的工作气压一般在10~(-2)～IPa;能量转化率高,95%以上的微波能量
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来源 ：
年份： 2001
语种： 中文
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材料与制造学部 材料科学与工程学院
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