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[会议论文]
新型化学汽相沉积技术Cat-CVD的发展趋势
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Catalytic CVD(简称Cat-CVD)是一种不同于传统化学汽相沉积(CVD)技术的薄膜制备方法,由于具有简便低廉的特点,逐步受到人们重视.此项技术在Si系材料的制备方面已有较大进展,更表现出与其它技术结合的发展趋势,但仍面临一些突出的问题.
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年份： 2001
语种： 中文
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