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[会议论文]
同步辐射3B1束线光监测系统
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＜正＞一、引言同步幅射光具有高亮度,平行性好,发射度小,光谱连续可调等显著特点, 是目前x射线亚微米光刻最理想的光源。北京正负电子对撞机3B1束线正是为探索X射线亚微米光刻的实验条件和工艺手段而建造的一条专用束线。
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年份： 1990
语种： 中文
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