高级检索
检索提示：高级检索多个条件检索时是按照顺序运算的：如 A或B与C 即:(A或B)与C
[期刊论文]
采用BCB平整技术的高速850nm垂直面发射激光器
作者：
收录：
摘要：
垂直腔面发射激光器因其具有低阈值、低功耗、可实现高速调制等优势,广泛地应用于光通信和光互连等领域。寄生电容是影响激光器的调制带宽的主要因素之一。本文通过采用低k值的苯并环丁烯(BCB)平整技术有效地降低了垂直腔面发射激光器的寄生电容。详细研究了BCB平整技术的最优工艺参数,为未来高速垂直腔面发射激光器的制造技术提供参考。低k值BCB平整垂直腔面发射激光器在7μm氧化孔径下3 dB小信号调制带宽可达15.2 GHz。
关键词：
作者机构：
通讯作者信息：
电子邮件地址：
相关关键词：
相关文章：
2018，中国光学
2017，半导体光电
2018，发光学报
2005，半导体学报
来源 ：
中国光学
ISSN： 2095-1531
年份： 2018
期： 2
卷： 11
页码： 190-197
被引次数：
WoS核心集被引频次： 0
SCOPUS被引频次：
ESI高被引论文在榜： 0 展开所有
万方被引频次：
中文被引频次： 1
近30日浏览量： 2
归属院系：
信息学部
全文获取
外部链接：
