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GaAs MESFETs欧姆接触的快速评估和改进
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提出了金属-半导体欧姆接触退化的快速评估方法-温度斜坡快速评价法，并建立了自动评估系统，用该方法和系统测得的欧姆接触退化激活能，和传统方法相比，耗时少，所需样品少，所得结果和传统方法一致．同时，针对传统AuGeNi／Au欧姆接触系统的缺点，提出了加TiN扩散阻挡层的新型欧姆接触系统．实验表明，新型欧姆接触系统的可靠性远远优于传统AuGeNi／Au欧姆接触系统．
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来源 ：
北京工业大学学报
年份： 1999
期： 03
页码： 1-4
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信息学部 电子科学与技术学院（微电子学院）
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