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多排热丝沉积大面积金刚石薄膜中热丝参数的影响
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根据热丝化学气相沉积法制备大面积金刚石薄膜工艺中热丝与衬底之间的几何关系，建立了该系统的热传递模型，利用计算机辅助数值解方法，给出了衬底温度与衬底表面的热辐射能量密度随热丝数量、热丝与衬底间距变化的关系．并利用该方法设计了沉积面积为100mm×100mm的金刚石薄膜的最佳热丝几何参数．
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1999，真空科学与技术
来源 ：
北京工业大学学报
年份： 1999
期： 03
页码： 91-95
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