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激光物理气相沉积Al_2O_3薄膜
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介绍了激光物理气相沉积设备的研制及利用所研制的设备和CO2气体激光器在Ni与SiO2基片上沉积Al2O3薄膜的方法．探索了激光物理气相沉积Al2O3薄膜的工艺，分析了Al2O3膜层的结构并初步测试了膜层的绝缘性、高温抗氧化性及耐腐蚀性．
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来源 ：
北京工业大学学报
年份： 1998
期： 03
页码： 106-109
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材料与制造学部 材料科学与工程学院
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