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Black方程中电流密度因子及精确测量技术的研究
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本文对电迁徙参数电流密度因子ｎ及ｎ值的精确测量技术进行了深入研究。首次提出了电流密度因子动态电流斜坡测试法（ＤＣＲ）．该方法与传统的ＭＩＦ法不同，利用专门设计的实验系统和实验样品，精确控制实验金属条温，消除了高电流密度条件下焦耳热的影响，提高了ｎ值的测量精度与速度。同时对四种不同材料实验样品的ｎ值进行了测量和分析。结果表明，ｎ值与材料、频率、占空比有关，与一定范围内的温度和电流密度无关。
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来源 ：
电子学报
年份： 1998
期： 02
页码： 3-5
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信息学部 电子科学与技术学院（微电子学院）
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