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徐遵图 (徐遵图.) | 徐俊英 (徐俊英.) | 杨国文 (杨国文.) | 张敬明 (张敬明.) | 李秉臣 (李秉臣.) | 陈良惠 (陈良惠.) | 沈光地 (沈光地.)

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PKU CSCD

摘要:

对SiO2薄膜在快速热退火条件下引起的空位诱导InGaAs/GaAs应变量子阱无序和SrF2薄膜抑制其量子阱无序的方法进行了实验研究。并将这两种技术的结合(称为选择区域量子阱无序技术)应用于脊形波导InGaAs/GaAs/AlGaAs应变量子阱激光器,研制出具有无吸收镜面的窗口结构脊形波导量子阱激光器。该结构3μm条宽激光器的最大输出功率为340mW,和没有窗口的同样结构的量子阱激光器相比,最大输出功率提高了36%。在100mW输出功率下,发射光谱中心波长为978nm,光谱半宽为1.2nm。平行和垂直方向远场发散角分别为7.2°和30°

关键词:

半导体激光器 应变量子阱 窗口结构 量子阱无序

作者机构:

  • [ 1 ] 中国科学院半导体研究所
  • [ 2 ] 北京工业大学电子工程系
  • [ 3 ] 北京市光电子技术实验室

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来源 :

中国激光

年份: 1998

期: 12

页码: 3-5

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