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[期刊论文]
提高半导体器件欧姆接触可靠性的扩散阻挡层及其应用
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为了提高半导体器件欧姆接触的可靠性，一般要在金属化系统中加扩散阻挡层。文中介绍了扩散阻挡层的种类及其特性，并进行了比较和讨论。最后给出了在实际成功应用的例子。
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来源 ：
电子工艺技术
年份： 1998
期： 01
页码： 3-5
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