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电迁徙参数—电流密度因子电流斜坡测试法
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本文对电迁徙参数电流密度因子n及n值的精确测量技术进行了深入研究．首次提出了动态电流斜坡电流密度因子测试法（DCR）．该方法与传统的MTF法不同，能精确控制金属条温，消除了高电流密度条件下焦耳热的影响，提高了n值的测量精度与速度．研究了四种不同样品直流和脉冲条件下的n值．实验结果表明，n值与材料、频率、占空比有关，与温度、一定范围内的电流密度无关．
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来源 ：
半导体学报
年份： 1997
期： 11
页码： 825-831
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信息学部 电子科学与技术学院（微电子学院）
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