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收录:

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摘要:

利用分子束外延技术,生长了极低阈值电流密度、低内损耗、高量子效率的InGaAs/GaAs/AlGaAs应变量子阱激光器.在腔长900μm时,80μm宽接触激光器阈值电流密度是125A/cm2,在腔长为2000μm时是113A/cm2,这样低的阈值电流密度是目前国内报道的最低值.激光器的内损耗和内量子效率分别是2cm-1和84%.

关键词:

INGaAs/GaAs/AlGaAs 内量子效率 分子束外延 激光器 阈值电流密度

作者机构:

  • [ 1 ] 中国科学院半导体研究所国家光电子工程研究中心 北京
  • [ 2 ] 100083
  • [ 3 ] 北京工业大学电子工程系和北京市光电子技术实验室
  • [ 4 ] 北京
  • [ 5 ] 100022
  • [ 6 ] 中国科学院半导体研究所国?

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来源 :

半导体学报

年份: 1997

期: 05

页码: 321-324

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