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[期刊论文]
金属与金刚石薄膜接触的电学特性研究
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用热丝辅助化学汽相沉积技术在Ｓｉ衬底上合成了含少量受主型杂质的近于本征的金刚石薄膜，并研究了三种金属（Ｃｕ，Ａｇ和Ａｌ）与它接触的电学特性，以及退火对接触特性的影响．结果表明Ｃｕ，Ａｇ与金刚石薄膜接触的电学特性比较类似，而Ａｌ则明显不同；而且退火对它们的接触特性影响很大
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来源 ：
物理学报
年份： 1997
期： 06
页码： 149-153
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理学部 物理与光电学院
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