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摘要:

叙述了SiGe/Si异质结双极晶体管(HBT)的设计考虑,双台面结构的制作方法,并制作出f_T为9GHz的SiGe/SiHBT。同时根据对不同尺寸HBT的测试结果得到分布参数是影响f_T的重要因素之一。

关键词:

双台面结构 异质结构 硅锗合金

作者机构:

  • [ 1 ] 北京工业大学和北京市光电子技术实验室

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来源 :

北京工业大学学报

年份: 1996

期: 04

页码: 55-59

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