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同步辐射光监测系统
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北京正负电子对撞机的3B1束线是一条专用光刻束线,光源的性能将影响光刻的质量,必须用特殊的探测方法对光源特性进行监测,为此建立了一套同步辐射光的实时监测系统。
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CNKI:BJGD199302008
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来源 :
北京工业大学学报
年份: 1993
期: 02
页码: 55-59
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材料与制造学部 机械工程与应用电子技术学院
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