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作者:

张治国 (张治国.) | 宿昌厚 (宿昌厚.)

收录:

CQVIP PKU

摘要:

用差分SPV法测量a-Si:H材料的少子扩散长度,可以消除被测样品背面结的影响.本文讨论了这种测量方法的数学模型,导出了测量公式,分析了影响测量结果的各种因素.

关键词:

扩散长度 a-Si:H材料 差分SPV测量

作者机构:

  • [ 1 ] 北京工业大学电子工程学系
  • [ 2 ] 北京工业大学电子工程学系 北京 100022
  • [ 3 ] 北京 100022

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来源 :

电子科学学刊

年份: 1993

期: 05

页码: 487-492

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