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[期刊论文]
非晶硅薄膜应力研究
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应用x射线衍射技术,发展了一种自动测定晶体曲率半径的方法,通过测量两种不同工艺制备的非晶硅膜,比较其内应力。单晶硅衬底的曲率半径反比于膜厚,单位膜厚所产生的应力只依赖于膜的沉积工艺,而与膜厚无关。
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来源 ：
太阳能学报
年份： 1989
期： 04
页码： 394-399
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