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[期刊论文]
离子镀TiN膜织构的研究
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通过自动极图衍射测量与极图分析研究空心阴极离子镀TiN膜晶粒取向,结果表明,TiN膜存在(111)织构,(111)晶面平行于沉积表面,研究了负偏压对TiN晶粒取向的影响,负偏压在0～200V范围内变化不改变织构类型与取向。
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来源 ：
北京工业大学学报
年份： 1989
期： 02
页码： 69-73
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材料与制造学部 材料科学与工程学院
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