高级检索
检索提示：高级检索多个条件检索时是按照顺序运算的：如 A或B与C 即:(A或B)与C
[期刊论文]
化学气相沉积技术的现状和发展(二)
作者：
摘要：
＜正＞ 三、最近进展CVD 技术近年来的发展趋势是:(1)降低处理温度,即所谓低温 CVD 法。众所周知,普通 CVD(或称 HT-CVD)有如下缺点:如在高温下基体和沉积层中的合金元素相互扩散而于交界处形成脆性的相,使工件不能承受冲击载荷;同时工件易于变形而不利于精密工具的处理;此外,不宜用于某些奥氏体化温度低的合金钢,因为普通 CVD 会使晶粒长大而降低
关键词：
作者机构：
通讯作者信息：
电子邮件地址：
相关关键词：
相关文章：
1986，航空材料
2004，功能材料
1999，兰州大学学报：自然科学版
2003，2003年中国太阳能学会学术年会
来源 ：
航空材料
年份： 1986
期： 02
页码： 48-51,54
被引次数：
WoS核心集被引频次： 0
SCOPUS被引频次：
ESI高被引论文在榜： 0 展开所有
万方被引频次：
中文被引频次：
近30日浏览量： 1
归属院系：
全文获取
外部链接：
