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[期刊论文]
在工具显微镜上进行干涉条纹瞄准法的研究
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干涉条纹瞄准是非接触尺寸测量的一门技术。作为一种新的瞄准方法,它不仅保持了普通接触式和非接触式瞄准的优点,而且显示出更好的性能和更高的精度。本文介绍了这种方法的基本原理,理论分析和实验总结。另外还就在工具显微镜上运用这种方法的一些具体问题作了说明。由于这种瞄准方法的精度高、成本低并且易于掌握它,在提高测量精度方面开始成为引人注目的新方法。
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1991，物理与工程
1986，光学学报
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1984，北京工业大学学报
来源 ：
宇航计测技术
年份： 1986
期： 04
页码： 48-53
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