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[期刊论文]
直流等离子体化学气相沉积TiN涂层的组织、结构的研究
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本文用直流等离子体化学气相沉积技术在高速钢,Cr_(12)、40Cr、GCr15、38CrMoA1氮化、40Cr渗硼、合全钢喷涂镍基合金的试块上沉积了TiN涂层。对各基材上沉积的TiN涂层进行了晶体构造、表面及断口形貌、针孔率及硬度测定和分析。
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来源 ：
青岛化工学院学报
年份： 1985
期： 02
页码： 83-88
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