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[期刊论文]
不同基板上离子镀铝层膜基结合力的研究
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本文用俄歇电子谱仪研究了铝-钼、铝-铁的膜基界面成分分布特征,用直拉法、弯曲法、刻划法及热冲击法对比了离子镀铝层与钼基板和铁基极的结合力。观察了不同基板上铝镀层的组织形貌,测试了不同基板上铝镀层的晶体结构。研究结果表明,在本文的实验条件下,铝-钼、铝-铁两种膜基材料对具有相近的膜基界面过渡层宽度、相似的镀层组织、相同的镀层晶体结构和相当的膜基结合力.试验研究
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来源 :
真空
年份: 1984
期: 02
页码: 19-23,12
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材料与制造学部 材料科学与工程学院
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