摘要：
＜正＞ 一、前言钯栅MOS场效应管(简称Pd-MOS FET)是一种性能优异的氢敏器件,1975年最先见于Lunstrom等人的报告我们研究室也于1979年研制成功。其氢敏机理的要点在于:Pd-MOS FET的开启电压随环境气氛含氢量的增加而下降。值得着重指出的是,此器件用于检测氢含量时显示了下列优点: (1)选择性好。它只对H_2敏感,对不析出氢的其它气体则毫不敏感,因为它只让氢渗入。(2)氢敏性强。测试数据表明,当空气中的氢含量由0.5ppm变至5ppm时,此器件的开启电压下降量
关键词：
通讯作者信息：
电子邮件地址：
