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[期刊论文]
介质钝化对铝薄膜温度分布的影响
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本文采用有限差分法,数值研究了具有介质钝化层的铝薄膜上的瞬态温度分布,着重研究了介质膜种类及厚度对这一分布的影响。结果指出,采用高热导率的Si_3N_4(或Al_2O_3)介质膜钝化,可以大幅度地降低铝薄膜的峰值温度及温度梯度。这对提高铝膜的电徙动寿命及抗电流浪涌能力是非常有益的。
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来源 ：
北京工业大学学报
年份： 1983
期： 02
页码： 123-130
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