本文从应用角度出发综合分析讨论了一种实现CMOS集成电路微小电流自动测试的方案。文章指出实现n端引线MOS器件微小电流快速测试系统中存在的问题及特点,针对这些特点运用负反馈放大器原理及电路工艺处理等方式,获得了一个比经典测试系统在微小电流快速测试区域伸展了2-3个数量级的应用实例。本文通过对CMOS集成电路微小电流的自动测试系统的分析和研究,在微电流快速测试误差分析方面、高阻放大器输入电阻方面和n端器件的测试继电器矩阵方面等提供了依据材料补充了国内现有资料的不足。