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[期刊论文]
用蒸发法制备非晶硅
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＜正＞ 用蒸发方法制备非晶硅薄膜,具有制备方法简单,淀积速率快,实验周期短,成本低等特点.但也存在一些问题,主要是用蒸发方法制备的非晶硅薄膜含有大量的宏观缺陷,如孔洞等.这样使非晶硅薄膜具有高密度的局域态,给掺杂带来很大困难.我们用蒸发方法制备非晶硅的研究是初步的,测试的数据还不完善.
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来源 ：
贵金属
年份： 1981
期： 04
页码： 71-72
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