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[期刊论文]
全息法制作光谱学衍射光栅
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用全息法在光致抗蚀剂涂层上制作光栅,涉及到所用的激光光源、干涉仪系统和光敏记录介质。在现有条件下,对一个刻划面积约80×40mm~2的光栅,可以得到波前象差1/6λ,30％的衍射效率,分辨率为理论值的75％和无鬼线强度。
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来源 ：
北京工业大学学报
年份： 1980
期： 01
页码： 63-68
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