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[期刊论文]
全息法制作光谱学衍射光栅
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用全息法在光致抗蚀剂涂层上制作光栅,涉及到所用的激光光源、干涉仪系统和光敏记录介质。在现有条件下,对一个刻划面积约80×40mm~2的光栅,可以得到波前象差1/6λ,30％的衍射效率,分辨率为理论值的75％和无鬼线强度。
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CNKI:BJGD198001004
Language
Chinese
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1981，北京工业大学学报
2019，
2020，
Source ：
北京工业大学学报
Year： 1980
Issue： 01
Page： 63-68
Cited Count：
WoS CC Cited Count： 0
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ESI Highly Cited Papers on the List： 0 Unfold All
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Chinese Cited Count：
30 Days PV： 2
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