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[期刊论文]
获得TiC等涂层的新工艺——反应性离子沉积法
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＜正＞ 在工模具表面沉积氮化钛、碳化钛等涂层可以提高其硬度和耐磨性,从而可显著提高其寿命。获得TiC等化合物涂层的方法过去多采用固体法、液体法和化学气相沉积法。这些方法多存在一定的问题:涂覆工艺多必须在较高温度下(1000℃左右)进行;沉积速率低;有公害等。近几年在国外出现了获得TiC等化合物层的新工艺——反应性离子沉积法。这是一项新技术,化合物涂层是在气体放电等离子区内反应生成的。这是继离子氮化、离子
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来源 ：
机械工人
年份： 1979
期： 07
页码： 41-45
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