高级检索
检索提示：高级检索多个条件检索时是按照顺序运算的：如 A或B与C 即:(A或B)与C
[期刊论文]
获得TiC等涂层的新工艺——反应性离子沉积法
作者：
摘要：
＜正＞ 在工模具表面沉积氮化钛、碳化钛等涂层可以提高其硬度和耐磨性,从而可显著提高其寿命。获得TiC等化合物涂层的方法过去多采用固体法、液体法和化学气相沉积法。这些方法多存在一定的问题:涂覆工艺多必须在较高温度下(1000℃左右)进行;沉积速率低;有公害等。近几年在国外出现了获得TiC等化合物层的新工艺——反应性离子沉积法。这是一项新技术,化合物涂层是在气体放电等离子区内反应生成的。这是继离子氮化、离子
关键词：
作者机构：
通讯作者信息：
电子邮件地址：
相关关键词：
相关文章：
2019，材料热处理学报
1998，北京工业大学学报
2008，铸造技术
2013，第八届中国功能材料及其应用学术会议
来源 ：
机械工人
年份： 1979
期： 07
页码： 41-45
被引次数：
WoS核心集被引频次： 0
SCOPUS被引频次：
ESI高被引论文在榜： 0 展开所有
万方被引频次：
中文被引频次：
近30日浏览量： 2
归属院系：
全文获取
外部链接：
