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[期刊论文]
精细线条光刻工艺研究
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本文研究了国产7205聚脂胶分辨率与胶膜厚度的关系。初步实验证明对于国产7205聚脂胶,分辨率是膜厚的5～6倍。同时研究了针孔与膜厚的关系。实验结果表明针孔数目与膜厚关系很大,薄胶膜针孔数可高至2000以上,而厚胶膜针孔降至20以下。最后综合了分辨率与膜厚的矛盾,选用膜厚为1700(?),在3DA50(3GC5W)微波功率管的矩阵版(最小条宽1μ)上进行了验证试验,获得良好的结果。
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来源 ：
北京工业大学学报
年份： 1974
期： 02
页码： 67-74
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