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李想 (李想.) | 秦飞 (秦飞.) (学者:秦飞) | 陈沛 (陈沛.)

摘要:

本文采用鼓泡法实验,基于双薄膜理论模型,已知黄铜的弹性模量的情况下,结合黄铜-聚酰亚胺(PI)双层薄膜测试实验计算出PI膜的弹性模量,并与纳米压痕测得的PI膜的弹性模量进行对比,完成了鼓泡法测量双层薄膜中未知薄膜力学性能方法的验证。实验结果表明,鼓泡实验测得PI膜的弹性模量与纳米压痕测得的弹性模量具有一致性。

关键词:

双层薄膜 弹性模量 纳米压痕 鼓泡法

作者机构:

  • [ 1 ] 北京工业大学材料与制造学部电子封装技术与可靠性研究所

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年份: 2021

语种: 中文

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