为确保金属保护涂层质量和服役状况,需要对金属基材表面预处理情况进行检测。本文利用反射式太赫兹时域光谱技术(THz-TDS)针对金属基材表面均匀度展开了研究。对样品的待测金属表面进行了逐点检测,获得了金属待测表面和基准面间各点的飞行时间差,提取了均匀度表征模型。绘制了表面均匀度空间分布三维形貌图,获得了表面均匀度空间分布情况,并提出了一种利用标准偏差的方法评价钢材表面均匀度。研究结果表明,太赫兹时域光谱针对金属表面均匀度的检测精度可达1μm,对节约涂料和避免涂层过早失效有重要意义。