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朱彦旭 (朱彦旭.) | 李锜轩 (李锜轩.) | 谭张杨 (谭张杨.) | 李建伟 (李建伟.) | 魏昭 (魏昭.) | 王猜 (王猜.)

摘要:

紫外光在各领域应用广泛,制备高性能紫外光电探测器(UV PD)受到研究人员的重视。GaN作为宽禁带半导体材料,具有高电子迁移率、稳定的物理化学性质、高击穿电压、低暗电流和固有可见盲区的特点。GaN基UV PD具有制备工艺简单、体积小无需附加滤光系统、易于与其他材料集成等特点,表现出优异的紫外光探测性能。围绕GaN基UV PD,介绍了GaN材料在制备工艺上的研究进展;详细论述了常见结构GaN基UV PD最新结构的优化对器件性能的影响;介绍了基于表面声波、表面等离激元和场效应晶体管集成的新型GaN基UV PD;最后,对GaN基UV PD的发展趋势进行了展望。

关键词:

GaN 响应度 器件优化 比探测率 紫外光电探测器(UV PD)

作者机构:

  • [ 1 ] 北京工业大学光电子技术教育部重点实验室

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来源 :

半导体技术

年份: 2021

期: 05

卷: 46

页码: 337-348

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