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一种用于扫描电镜真空环境的高温测试装置
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本文公开了一种用于模拟扫描电镜真空环境的高温测试装置,测试在高、低真空环境及大气环境(10-5~105Pa)下,目标点的温度分布,并可测试施加热防护措施后对目标测试点温度降低的效果,测温范围为-40~1600℃。该测温装置包括:真空室及真空装置,热电偶测温组件,电极法兰组件,支撑法兰组件,加热台装置,及热防护挡板。本装置结构设计简单,测温精度高,测温范围广,适用于测试不同类型扫描电镜及真空设备中的温度分布。
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专利基本信息 :
专利类型: 发明申请
申请(专利)号: CN201510488027.4
申请日期: 2015-08-10
公开(公告)日: 2015-11-11
公开(公告)号: CN105043572A
申请(专利权): 北京工业大学
法律状态: 授权
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