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本发明公开了一种大功率高频激励源的阻抗匹配装置，包括信号源、DE类射频功率放大器、阻抗匹配网络和电磁超声换能器；DE类射频功率放大器的电路中，第一功率管S1与第二功率管S2串联，第一电容C1及第二电容C2分别并联在S1和S2上，在S1和S2中点处，连接由谐振电容Ct和谐振电感Lt构成的串联谐振电路，谐振电感Lt另一端为补偿电感Lx、负载等效阻抗Z＝R与S2的源极构成的回路，串联谐振输出电路的工作频率为fo；阻抗匹配网络分为串联型阻抗匹配网络或并联型阻抗匹配网络；电磁超声换能器的等效阻抗为串联型等效阻抗Zo＝Ro+jXo或并联型等效阻抗本发明的有益效果为：实现电磁超声激励源的高性能输出，且能够激励换能器的能量高效转化。
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