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一种优化准分子激光微透镜阵列均束装置的方法，属于激光外光路系统的设计及其应用领域。通过使用激光光束分析仪拍摄得到准分子激光光斑能量分布图像(1)，将像素所携带的光能量强度信息量化并根据微透镜单元所形成的光通道划分成网格区域，分别选择围绕光轴对称、光能量互补的一对区域计算其像素所表示的光能量通过其光通道(2)在均束平面(3)上的落点位置，根据两光通道在均束平面叠加后的均束效果优化光通道中微透镜单元的光学参数。重复该过程并应用于所有关于光轴对称的光通道，最终可以得到具有良好均束效果的光学系统。本发明以显著提升准分子激光微透镜阵列均束装置的均束效果。
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